薄膜开关导电膜就是具有导电功能的薄膜，导电薄膜的荷电载流子在输运过程中会受到表面和界面的散射，当导电膜的厚度可与电子的自由程相比拟时，其在表面和界面的影响将变得明显，这个现象可以称为薄膜的尺寸效应。

薄膜开关导电膜样板图示

尺寸效应等效于载流子的自由程减小，因此与同样材料的块体相比，导电膜的电导率较小。但是一般情况下，由于制备的技术有待完善，通常导电膜中的缺陷浓度比较高，主要缺陷为杂质、空位、填隙原子、位错和晶界，以及表面和界面的吸附和偏析等，这些都是薄膜开关导电膜在使用时需要注意的。

薄膜开关导电膜还有一种ITO导电膜类型，这种导电膜的主要参数有表面电阻、表面电阻的均匀性、透光率、热稳定性、加热收缩率和加热卷曲等。其中光透过率主要和ITO膜所用的基底材料及ITO膜的表面电阻有关。除此之外，在基底材料在相同的情况下，ITO膜的表面电阻如果越小，那么ITO膜层的厚度越大，光透过率相应的就会有一定程度的减小。

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